电容式硅基微传声器论文

论文题目:MEMS红外光声气体传感系统的研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:纪新明导师:黄宜平关键词:微机械,红外光声传感器,光声腔,电容式硅基微传声器文...