电容式加速度传感器论文

硅基差分电容式加速度传感器的研究与设计
论文摘要传感器是MEMS技术的一个重要分支,其中的加速度传感器在航空、航天和汽车等很多领域有着广泛的应用,主要有压阻式、电容式和压电式三种。由于电容式加速度传感器具有灵敏度高、...