电容式位移传感器论文

超精密测量光路中调焦位移共轴检测技术的研究
论文摘要本课题是福建省科技计划重点项目“柔性电路FPC非电量参数在线质量控制技术研究”中的一项关键技术——实现超精密光学测量系统中调焦位移的共轴检测,解决该系统中存在的原理性误...