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电容位移传感器温度漂移主动抑制技术研究
论文摘要电容式位移传感器由于具有分辨率高、频响高、可实现非接触式测量等优点,在精密加工、高精度定位、超精密测量等领域得到广泛的应用。由于电容位移传感器信号转换和处理电路存在模拟...
轴向磁悬浮轴承及控制器研究
论文摘要主动磁悬浮轴承是一种典型的机电一体化产品,是一种新型的高性能支承部件。由于其具有诸多优点,从而应用需求越来越广。但由于技术复杂、难度大等原因,目前国内的磁悬浮轴承研究大...