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晶圆制造过程中光敏型聚酰亚胺的应用及制程改良
论文摘要本研究工作主要围绕着光敏型聚酰亚胺(PSPI)这一种新型工程高分子材料在半导体晶圆制造过程中的应用进行展开,具体讨论了其应用机理,商品化后在晶圆制造过程中的应用制程,讨...
CE-1微波探测仪地面定标技术研究
论文摘要月球探测卫星“嫦娥一号(CE-1)”有效载荷微波探测仪主要由4频段微波辐射计构成,这四个频段分别为:3GHz、7.8GHz、19.35GHz和37GHz。目前,CE-1...