电子回旋共振等离子体论文

电子回旋共振等离子体的数值模拟研究
论文摘要近年来,在低气压、低温等离子体研究和应用中的一个重要发展是微波电子回旋共振放电。由于它是一种无极放电,能够在低气压下产生高密度、高电力度、大体积均匀的等离子体。所以在等...