电子回旋共振论文

论文摘要电子回旋共振等离子体辅助脉冲激光沉积（electroncyclotronresonanceplasmaassistedpulsedlaserdeposition,ECR...

论文摘要由于超薄氧化铝薄膜在微电子方面的应用越来越广泛,所以对它的制备方法的研究和改良也越来越吸引人们去研究。目前以金属有机源为单体制备超薄氧化铝薄膜的方法主要有原子层沉积（A...

论文摘要电子回旋共振等离子体具有等离子体密度高,电离度大,工作气压低,均匀性好,工艺设备简单,参数易于控制等优点。当工作气压低于10mTorr时,减少了衬底受热和离子轰击效应对...

论文摘要微波电子回旋共振（electroncyclotronresonance-ECR）等离子体源技术是一种先进的低温等离子体发生技术,具有体积小、无热阴极、起动时间快、工质电...