• 碳化硅场效应器件的模型及关键工艺技术研究

    碳化硅场效应器件的模型及关键工艺技术研究

    论文题目:碳化硅场效应器件的模型及关键工艺技术研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:王平导师:杨银堂关键词:碳化硅,电子霍耳迁移率,蒙特卡罗,金属半导体场效...