电子激发温度论文

论文摘要由射频放电产生的低气压容性耦合等离子体已在微电机系统、集成电路制造等微细制造领域中得到了广泛的应用。在射频放电中,对电压进行脉冲调制,使放电参数调节更加灵活,能够提高对...

论文摘要在大气压下实现大面积均匀放电等离子体在工业应用上具有重要的意义。本文在大气压氩气中,对大面积介质阻挡放电分别进行了电学特性和电子激发温度进行了研究,主要成果如下：1.随...

论文摘要本文主要研究目的是利用自行设计常压等离子体设备,建立常压等离子体纤维连续处理系统；对常压等离子体进行放电特性分析及利用其对高性能纤维进行表面改性处理,改善纤维表面润湿性...

论文摘要本工作利用两种不同的电极介质阻挡放电装置,采用发射光谱以及光学的方法对空气、氩气/空气放电系统中等离子体参量（电子激发温度、电子密度及振动温度）的变化及其空间分布进行了...

论文摘要等离子体喷束可以为新材料的合成提供新的方法，在金属表面处理及高分子材料表面镀膜等方面有十分重要的意义。气体放电作为获得等离子体的一种主要途径，在民用和工业中得到了越来越...