电子级磷酸论文

冷却结晶法制电子级磷酸的研究
论文摘要随着电子行业的迅速发展,作为湿法蚀刻剂的原料之一高纯磷酸其纯度受到了广泛的关注,因为高纯磷酸的纯度决定了电子芯片的质量,而电子级高纯磷酸中各种微量元素含量是衡量磷酸纯度...