![纳米线围栅MOS器件关键工艺研究]()
论文摘要随着大规模集成电路的发展,场效应晶体管的特征尺寸不断按比例缩小,当器件尺寸进入纳米尺寸时,会面临着严重的短沟道效应。围栅Si纳米线器件结构具有最佳的栅控能力和优良的输运...
![X射线显微成像纳米光学元件制作与应用研究]()
论文摘要X射线波长短、穿透深度大,不仅具有对厚样品进行纳米分辨成像的潜力,而且成像机制多样(如吸收、位相、荧光等),衬度来源丰富,因而可以观察分析多种微观物理、化学和纳米结构,...
![基于液晶及表面等离子效应的若干光器件的研究]()
论文摘要本文开展了基于液晶及表面等离子效应的若干光器件的研究,研究对象涉及了扭曲向列型液晶宽带波片、可调谐法—珀滤波器和基于表面等离子效应的法—珀波导干涉腔、金属超分辨透镜、介...
![电子束光刻的Monte Carlo模拟及邻近效应校正技术研究]()
论文摘要微机电系统是具有广泛应用前景的新兴学科，微加工工艺是实现微机电系统的关键技术。现有实用的三维微结构加工工艺存在的主要问题是精度较低，分辨率仅能达到亚微米级。为了满足微机...
![董明雪：电子束辅助电化学制备光波导及特性研究论文]()
本文主要研究内容作者董明雪（2019）在《电子束辅助电化学制备光波导及特性研究》一文中研究指出：集成光路具有体积小、集成度高、性能稳定等优势,相较于集成电路有更好的信息传输和处...
![乔闯：980nm大功率DBR激光器的研究论文]()
本文主要研究内容作者乔闯（2019）在《980nm大功率DBR激光器的研究》一文中研究指出：980nm波段半导体激光器因其优异的光学性质,被广泛应用于光纤放大器与其它固体激光器...
