电子束刻蚀论文

二维Thue-Morse型准周期光子晶体的制作及光学特性的研究
论文摘要准周期光子晶体是介于周期性光子晶体和无序结构之间的一种结构,其晶格排列按照相应的准周期序列生成。本文主要研究了按照二维Thue-Morse序列排布的准周期光子晶体的光学...
一种低精度光刻扫描器的研究
论文摘要由于技术上的成熟以及广泛地应用,有掩模光刻技术一直都是占据着主导地位,而以电子束扫描刻蚀为代表的无掩模刻蚀技术只是应用在特殊的领域,比如高分辨率的少量的特殊器件、光刻掩...