电子束曝光论文

化学增幅光刻胶及其在电子束光刻中的应用
论文摘要本文通过沉淀聚合合成了聚（甲基丙烯酸-co-甲基丙烯酸甲酯-co-甲基丙烯酸叔丁酯-co-甲基丙烯酸异冰片酯）四元共聚物,合成了光产酸剂二苯碘三氟甲基磺酸盐,在净化室中...
纳米级电子束曝光机聚焦偏转系统的研究
论文题目:纳米级电子束曝光机聚焦偏转系统的研究论文类型:博士论文论文专业:电工理论与新技术作者:刘珠明导师:顾文琪关键词:电子束曝光,纳米级聚焦偏转系统,高级像差文献来源:中国...
陈伟：超导约瑟夫森结的研制与调控特性研究论文
本文主要研究内容作者陈伟（2019）在《超导约瑟夫森结的研制与调控特性研究》一文中研究指出：超导约瑟夫森结是一种宏观量子器件,具有约瑟夫森效应、量子化能级、高非线性、低功耗、量...