![修正板改善薄膜厚度均匀性的研究]()
论文摘要经过一百多年的发展,薄膜光学已经成为近代光学的重要分支。光学薄膜技术在理论、设计、计算和工艺方面已形成了完整的体系,一些新型微观结构的功能薄膜被不断开发出来,这些功能薄...
![中频反应磁控溅射制备二氧化硅薄膜的工艺研究]()
论文摘要二氧化硅薄膜具有良好的绝缘性、稳定性和机械特性,同时又是一种实用的低折射率材料,可以作为绝缘层、保护膜、钝化膜或光学薄膜,广泛应用于半导体、微波、光电子以及光学器件等领...
![六硼化镧场发射特性研究]()
论文摘要以场致发射理论为基础的真空微电子器件（VMDs），因其具有体积小、功耗低、电压低、速度快、抗辐射及工作温度范围宽等显著的特点而倍受人们的关注。场发射阴极是真空微电子器件...
![六硼化镧薄膜的制备及发射特性的研究]()
论文摘要阴极是电子源的核心部件。随着电子源在各领域的广泛应用,对电子源的要求越来越高,相应地,对阴极的要求也越来越苛刻。如要求发射电流密度大、束流品质好的电子源,以获得很高亮度...
![SiC/Si异质结构和HfO2高κ薄膜制备及其性能研究]()
论文摘要宽带隙半导体材料和高介电常数材料是当今微电子领域的前沿研究课题。SiC是宽带隙半导体的核心材料之一，但其体材料制备较难、价格偏高，严重制约SiC基器件的实际应用。在众多...
![Ga2O3：Mn电致发光薄膜的制备及其特性研究]()
论文题目:Ga2O3：Mn电致发光薄膜的制备及其特性研究论文类型:硕士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:张修太导师:黄蕙芬关键词:薄膜电致发光,电子束蒸发,晶体结构,表面...
