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高速硅基Mach-Zehnder调制器设计与模拟
论文摘要硅材料作为微电子领域的传统材料,在加工工艺和制作成本上有着其他材料无可比拟的优势。现在许多传统的基于Ⅲ-Ⅴ族材料的电光调制器利用直接电光效应实现了40GHz高速电光调制...