低材料论文

论文摘要随着集成电路向高速、高集成度发展，为了降低信号传输延迟和串扰以及由于介电损失而导致的功耗增加，采用低介电常数材料做层间介质成为必然的选择。因此，低介电常数材料也就成为当...