低能量大剂量离子注入论文

论文题目:电导调制器件局域寿命控制技术论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:方健导师:李肇基关键词:电导调制,局域寿命控制,低能量大剂量离子注入,正向安全工作区...