低能离子束溅射论文

纳米Ni-Cr薄膜的制备、表征及其性能研究
论文摘要随着现代科技的飞速发展，薄膜技术已经与压力传感器制造技术相结合。我国国防、航空、航天、现代工业生产和自动控制都急需高精度、高稳定性、耐恶劣环境的纳米合金薄膜压力传感器。...