定位平台论文

论文题目:面向IC封装的两自由度高速精密定位系统研究论文类型:博士论文论文专业:机械电子工程作者:冯晓梅导师:张大卫关键词:定位平台,封装,动力学建模,机电耦合控制,直线音圈电...