定位特性论文

工作台微定位特性分析及误差补偿研究
论文摘要随着表面形貌测量、超精密加工及生物医学工程等众多领域的不断发展,与之相关的设备对定位行程、定位精度的要求越来越高,因此大行程高精度的定位技术在现代科学技术中起到十分关键...