定向沉积论文

论文摘要本文主要研究了定向沉积技术制备NdFeB/X/Ti薄膜的制备工艺、表面形态,以及磁性能。为获得良好磁性能的NdFeB/X/Ti薄膜,采用了定向沉积技术,使薄膜表面形成定...