低气压辉光放电论文

低气压辉光放电等离子体灭菌消毒装置的研究
论文摘要低气压高频辉光放电等离子体灭菌消毒技术,有着很高的经济效益和市场前景。本研究通过两种不同电极形式时低气压高频辉光放电特性的研究,利用朗缪尔双探针测量等离子体的基本参数,...