低温多晶硅薄膜晶体管论文

高品质低温多晶硅薄膜晶体管的制作与周边一体化设计
论文摘要平板显示器的后起之秀OLED的有源驱动显示技术的发展以及显示器周边驱动电路的集成一体化强烈依赖于LTPSTFT技术的发展，而制备高品质的LTPSTFT的关键是高品质多晶...