低温键合论文

论文摘要微流控芯片广泛应用于生物、化学、医学、药物、食品、农业等领域,是微全分析系统的发展重点和研究热点。玻璃因具有优异的电渗、光学和表面性质,微通道热变形小且通道表面易于修饰...

论文题目:MEMS原子钟理论、设计及Cs/Rb气体盒气密性封装研究论文类型:硕士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:刘玉菲导师:吴亚明关键词:芯片级原子钟,低温键合,气密性...

论文题目:微流控芯片加工和试样引入技术的研究论文类型:博士论文论文专业:分析化学作者:贾志舰导师:方肇伦,方群关键词:微流控芯片,玻璃基质,低温键合,室温键合,滴液式试样引入接...