低温晶圆键合论文

晶圆低温键合技术及应用研究
论文摘要作为半导体制造领域的一项新兴的使能技术,晶圆直接键合已经在越来越多的领域发挥了重要的作用。晶圆键合可以使得经过抛光的半导体晶圆在不使用粘结剂的情况下结合在一起。这种技术...