低温气相沉积论文

低温气相沉积薄膜及其摩擦学性能研究
论文摘要工艺性能良好、摩擦学特性满足工程应用实际需求的低温气相沉积工艺的研究，为低温回火材料及聚合物等温度敏感材料零部件的表面改性提供了一种新的和有效的技术解决方案，对于开发无...