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马铭:磁控溅射制备AlCrWTaTiNb高熵合金薄膜低温等离子体氮化简论文
本文主要研究内容作者马铭,任瑛,侯晓多,陈国清,张贵锋(2019)在《磁控溅射制备AlCrWTaTiNb高熵合金薄膜低温等离子体氮化简》一文中研究指出:采用磁控溅射技术沉积了A...