低相干干涉论文

大量程高精度的低相干光纤在线绝对位移测量系统
论文摘要本课题提出了一个新型的适用于大台阶测量的大量程高分辨率低相干光纤在线绝对位移测量系统。测量系统利用光纤光栅作内置反射镜集成了两个光路几乎重合的光纤迈克尔逊干涉仪,其中一...