低压等离子体化学气相沉积论文

高光洁度类金刚石碳膜的制备与性能研究
论文摘要本文介绍了类金刚石碳（DLC）膜的研究进展,对其结构、表面形貌、性能及沉积机理作了详细的总结、分析和讨论。重点综述了类金刚石碳膜的制备方法、应用背景及研究进展。DLC膜...