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反应烧结碳化硅基底致密层制备及性能研究
论文摘要应烧结碳化硅是一种综合性能优良的反射镜材料,它由两种硬度不同的材料组成,普通的机械加工方式不能或很难使其表面光洁度达到很高的水平。本研究采用在其表面沉积致密层的方法来提...