动态随机存储器论文

失效分析在DRAM产品中的应用
论文摘要失效分析是通过对失效器件的分析研究,找出失效机理,提出改进措施,以提高产品的良品率和可靠性。在产品的设计、研制、生产、可靠性试验及质量信息反馈等过程,都离不开失效分析。...
微纳深沟槽结构测量系统研究
论文摘要在微电子和微机电系统(MEMS)设计与制造工艺过程中,目前广泛采用了高深宽比的深沟槽结构。传统的测量方式很难甚至无法实现对深沟槽深度的测量,因此需要采用光学的方法对深沟...
90纳米DRAM深沟槽模块蚀刻工艺改善
论文摘要DRAM（DynamicRandomAccessMemory）即动态随机存取记忆体,所有的DRAM核心记忆单元都是由一个晶体管和一个电容器组成亦即通称的1T1C结构。D...
脉冲激光沉积Pb0.5Sr0.5TiO3薄膜和（Pb，Sr）TiO3/（Pb，La）TiO3多层膜的介电性能及弛豫现象
论文摘要动态随机存储器是铁电薄膜的主要应用之一。但是当前这方面的主要候选材料都存在着一定的不足。近来,掺锶的钛酸铅薄膜（PST）以其良好的性能引起了研究者的注意,人们设想用它来...