对准标记论文

投影光刻系统套刻对准技术的研究
论文摘要现代光学和IC产业的发展要求光学器件的微型化、阵列化和集中化，从而产生了微光学技术。微光学技术是光学与微电子学、微机械学相结合渗透的一个学科，是研究亚微米级尺寸光学元件...
相位光栅对准技术研究
论文摘要随着光刻机技术水平的提高,特征线宽的尺寸减小到纳米级,对光刻机对准系统提出了更高对准精度的性能指标。本论文首先介绍了各种相位光栅对准系统的原理和特点;接着阐述对准信号以...