镀膜机论文

基于CPLD和虚拟仪器技术的镀膜机膜厚控制系统的研究
论文摘要在光电技术突飞猛进发展的今天，镀膜装置与技术也在不断发展与进步。在目前已经实用化软X射线多层膜制备当中，离子束溅射(IBS)技术成膜质量较好，没有电磁波干扰，易于对镀膜...