钝化物论文

论文摘要半导体诸如硅、锗因其具有对光、热、电、磁等外界因素变化十分敏感而独特的电学性质,已成为尖端科学技术中应用最为活跃的先进材料之一。然而其硬度高、脆性很大,传统机械加工方法...