多靶磁控溅射论文

本文主要研究内容作者陈昶,曹凤红,邓迟,徐要辉,刘春海,张伟（2019）在《LiFePO4/C多层膜的制备及电化学性能研究》一文中研究指出：目的研究LiFePO4/C多层膜在不同的调制周期下的电化学性能。方法采用多靶磁控溅射方法,在304不锈钢基底上,先沉积10nmTi薄膜作为阻挡层,然后交替沉积L...