多波形偏压论文

多波形脉冲偏压电源控制系统研制与CrN薄膜制备
论文摘要磁控溅射技术是目前薄膜制备领域中最常用的技术之一,具有低温、高效两大优势。在膜层制备过程中,通常在基体上施加一定的负偏压配合磁控溅射镀膜,且大量研究表明,基体加负偏压可...