多参量仿真论文

热超声倒装过程的热—力建模和多参量仿真
论文摘要工业界在长期工业生产中积累了丰富的工艺认识和工艺参数选择的经验,并发展了各种形式的微电子工业键合设备。但对其原理尚缺乏系统阐明,不少与核心机理有关的重要现象,较多停留在...