多层浮栅晶体管论文

论文摘要本文基于2层多晶硅2层金属N阱0.6μmCMOS工艺设计了细胞膜电位、pH值参量数模混合集成传感芯片。本论文的主要内容和贡献可归纳为以下几点:1.基于标准CMOS工艺设...