多层金属互连网络论文

ULSI多层金属布线中的热效应和可靠性研究
论文摘要本论文研究了超大规模集成电路(ULSI)多层金属布线中的热效应和可靠性问题。在多层金属布线网络中，通过模型，详细研究了单层单线、多层单线和多层多线的温度分布，以及介质材...