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富硅氮化硅和纳米硅多层量子阱硅基发光薄膜与器件
论文摘要在硅基上实现光电单片集成,能够为微电子器件提供大带宽的光互连,同时为光电子器件提供低廉的制造成本,这使得硅基光电子成为国际上半导体领域研究的热点之一。晶体硅由于间接带隙...