多层膜结构论文

金膜—一维光子晶体结构的热辐射特性
论文摘要目前,热辐射的相干特性引起了人们很大的兴趣,基于光子晶体结构产生相干热辐射的研究也越来越多,本文主要通过金膜-一维光子晶体结构激发表面波,从而对热辐射的相干性进行调控。...
多层膜结构电容式压力传感器及其CMOS兼容工艺的研究
论文摘要硅微机械加工压力传感器是MEMS的重要研究领域之一,在汽车系统、工业控制、环境监控和测量以及生物医疗诊断等众多领域有着广泛的应用。电容式压力传感器是硅微压力传感器的一种...