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闭合场非平衡磁控溅射沉积的CrAlN薄膜组织结构和性能研究
论文摘要CrN薄膜由于具有高的硬度、优良的耐腐蚀和耐磨损性能,被广泛应用于模具和切削工具等领域。在面心立方的CrN中加入少量的Al可形成亚稳态的三元固溶体CrAlN,能进一步提...