多功能复合薄膜论文

DLC基固体润滑复合薄膜制备及性能表征
论文摘要类金刚石（DLC）薄膜因其诸多独特的性能,包括高硬度、低摩擦系数、高电阻率、高热导率、良好的化学稳定性和突出的抗腐蚀能力等优点,已经在机械、信息技术、航空航天、光学和医...