多晶掺杂论文

POCL3工艺的建立和优化
论文摘要POCL3工艺是PhosphorusOxychloride工艺的简称,是气态源扩散的一种基本形式。在半导体平面制造工艺上,扩散主要通过在高温环境下,利用一次恒定表面浓度...