多晶硅薄膜论文

论文摘要多晶硅薄膜因其较高的载流子迁移率、较低的制备成本以及良好的光电稳定性而被广泛应用于太阳能电池、薄膜晶体管等领域。金属诱导法具有晶化温度低、晶化时间短、制备成本低的优点,...

论文摘要本论文研究在廉价的玻璃衬底上利用铝诱导晶化非晶硅（a-Si）薄膜制备多晶硅（poly-Si）薄膜。样品采用glass/Al/a-Si:H结构,研究了退火条件、铝膜厚度、...

论文摘要传统能源的日益短缺导致了可再生能源特别是太阳电池产业和研究的迅速发展。在各类太阳电池中薄膜太阳电池以低成本和高转换效率的特点成为当前的研究和开发热点，特别是多晶硅薄膜太...

论文摘要等离了体技术在微电子工业和半导体薄膜材料生长等方面有着广泛的应用。用等离子体化学气相沉积（PCVD）技术制备的薄膜质量好,而且工艺成熟,适合大规模工业化生产,因而成为工...

论文题目:太阳能电池用多晶硅薄膜的制备研究论文类型:博士论文论文专业:凝聚态物理作者:张宇翔导师:卢景霄关键词:太阳能电池,多晶硅薄膜,固相晶化,快速热化学气相沉积,区熔再结晶...