多晶硅纳米薄膜论文

多晶硅纳米薄膜加速度传感器研究
论文摘要传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志,它与通信技术、计算机技术构成现代信息产业的三大支柱。在各种传感器中,硅加速度传感器是应用最为广泛的一种。MEMS技术的发展为...