多晶硅纳米膜论文

多晶硅纳米膜压力传感器温度补偿技术研究
论文摘要多晶硅纳米膜是一种具有良好压阻特性的纳米材料,基于多晶硅纳米膜的压力传感器具有灵敏度高、动态响应好、精度高、稳定性好、易于小型化和批量生产等诸多优点。虽然纳米膜的温度特...