多孔硅薄膜论文

多孔硅薄膜的制备工艺与微观结构分析
论文摘要自从19世纪90年代以来,微电子机械系统（MEMS）得到了迅速的发展。现在,MEMS已经成为信息领域最有前途的研究热点之一。可以认为,MEMS技术和微电子技术一样,将会...