多腔体论文

金属有机物化学气相沉积设备多腔体气体输运技术的研究
论文摘要MOCVD（MetalOrganicChemicalVaporDeposition）技术是生长GaN材料的关键工艺,目前国内的MOCVD技术研究还处于初级阶段,尚未有生...