多丝切割论文

多丝切割机理及其控制方法的研究
论文摘要多丝切割是一种新型的硅片切片加工方法,近年来多丝切割已经逐渐取代内圆切割成为硅片切片加工的主流。本文针对多丝切割的切割加工机理、恒张力的走丝系统控制、切割机使用中的工艺...